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上海松夏介绍爪式波纹补偿器

上海松夏介绍爪式波纹补偿器,近年来波纹补偿器技术的应用领域日趋广泛,已扩展到整个工业。而在以半导体、电子工业为代表的制造工艺中,迫切要求无油污染的清洁波纹补偿器。因被抽气体往往含有腐蚀性蒸汽及磨损粒子,油封波纹补偿器对此是无能为力的。因而近年来某些国家相继研制出工作在大气压到0.1pa区域内的干式波纹补偿器,以满足干式工艺的要求。干式波纹补偿器有非接触型的式、爪式、螺杆式、接触型的叶片式、凸轮式、活塞式等。非接触型可以高速旋转,但最大压缩比小。接触型的转速不能太高,但最大压缩比大。
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尤其在大气压附近,因逆流量变大使后者的压缩比为前者5-8倍。另外,干式波纹补偿器的转速越高,其压缩比越大,所以干式波纹补偿器的转速多为3000r/min .从使用寿命、所能达到的压缩比、转速及动平衡性等方面考虑,采用多级爪式转子串联或转子与多级爪型转子串联组合成干式波纹补偿器。这种波纹补偿器采用了形状复杂的爪型转子,它也类似波纹补偿器型式,两个转子与波纹补偿器体之间形成波纹补偿器腔的抽气容积,吸气口和排气口分别固定在两侧端盖的侧面上,有转子在旋转过程中自动开闭。目前有两种结构型式,一种是三级爪型转子加一级型转子构成的多级波纹补偿器,另一种是四级爪型转子串联构成的多级波纹补偿器。由于爪式波纹补偿器沿轴向逆流少,故压缩比在高压区较高。
这种波纹补偿器的吸、排气口设置在波纹补偿器腔的端壁上,多级连接很方便,气道流畅,波纹补偿器内腔压力变换平缓,有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在波纹补偿器内凝结,也要向波纹补偿器腔内通净化气体。现在的爪式波纹补偿器极限压力为1-10pa,抽速为100-180m3/h,有系列产品出售。爪式波纹补偿器也有单级、多级波纹补偿器出售。
波纹补偿器

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